?氦質譜檢漏儀的結構及工作原理
- 2021-09-28-
氦質譜檢漏儀的結構及工作原理
針對氦質譜檢漏儀內部密封結構出現泄漏,檢測信號不準確,質譜室故障,分子泵不工作,前機泵不工作等問題,提出了解決辦法和建議。同時總結了檢漏儀在使用中應注意的問題。
氦質譜檢漏儀檢測靈敏度高,反應速度快,定位準確,在壓力容器中得到了廣泛的應用。宇航、原子能、發電廠、制冷工業。氦質譜檢漏儀在使用過程中,常常會出現一些故障現象,影響氦質譜檢漏儀的正常運行。如不注意,則會危及檢漏儀的使用壽命。掌握和了解檢漏儀常見故障的維修技術,有利于檢漏工作的順利進行和設備的維修,也可使使用者能夠及時解決或避免某些故障或現象。
氦質譜檢漏儀的結構及工作原理。
氦質譜檢漏儀的基本原理是,不同質荷比的離子在磁場中運動時,其偏轉半徑不同,從而實現不同類型離子的分離。本儀器主要由質譜室、真空系統和電控部分組成。測漏器工作時,首先打開抽氣閥前泵真空檢漏口,當真空P1大于200Pa時,打開進口1.2,關閉抽氣閥,此時,氦將反吹反吹泵的抽氣方向進入質譜室進行檢測,此時檢漏機的可檢漏速率為10-10Pa。在P1下降到20Pa時,兩個進口閥關閉三個進口閥,分子泵高速抽空試件,提高了分子泵的抽速,縮短了檢測時間。這時,檢漏儀的檢漏率在10-12毫安/秒之間。
上一條: 氦質譜檢漏儀故障與處理
下一條: 氦檢漏設備的維護