氦質譜檢漏儀的結構及工作原理

       針對氦質譜檢漏儀內部密封結構出現泄漏，檢測信號不準確，質譜室故障，分子泵不工作，前機泵不工作等問題，提出了解決辦法和建議。同時總結了檢漏儀在使用中應注意的問題。

       氦質譜檢漏儀檢測靈敏度高，反應速度快，定位準確，在壓力容器中得到了廣泛的應用。宇航、原子能、發電廠、制冷工業。氦質譜檢漏儀在使用過程中，常常會出現一些故障現象，影響氦質譜檢漏儀的正常運行。如不注意，則會危及檢漏儀的使用壽命。掌握和了解檢漏儀常見故障的維修技術，有利于檢漏工作的順利進行和設備的維修，也可使使用者能夠及時解決或避免某些故障或現象。

氦質譜檢漏儀的結構及工作原理。

        氦質譜檢漏儀的基本原理是，不同質荷比的離子在磁場中運動時，其偏轉半徑不同，從而實現不同類型離子的分離。本儀器主要由質譜室、真空系統和電控部分組成。測漏器工作時，首先打開抽氣閥前泵真空檢漏口，當真空P1大于200Pa時，打開進口1.2，關閉抽氣閥，此時，氦將反吹反吹泵的抽氣方向進入質譜室進行檢測，此時檢漏機的可檢漏速率為10-10Pa。在P1下降到20Pa時，兩個進口閥關閉三個進口閥，分子泵高速抽空試件，提高了分子泵的抽速，縮短了檢測時間。這時，檢漏儀的檢漏率在10-12毫安/秒之間。