氦質譜檢漏儀故障與處理

一、氦質譜檢漏儀內漏。

1.內部密封結構。

如果氦質譜檢漏儀內部有泄漏，會給檢漏工作帶來很大的干擾，容易造成誤檢和誤判。氦質譜檢漏儀內部的主要密封位置在檢漏儀后面，在絕熱板上方:

①檢漏儀試驗口與閥塊的連接處，密封采用膠灌密封，運輸過程中檢漏儀振動強，密封膠開裂。

②每個電磁閥和閥門組件之間的連接部分。密封件用氟橡膠圈或金屬墊片密封，密封壽命有限，使用5年以上，容易出現密封故障。

③零件接頭處的密封部分。例如，放大器和質譜室、離子源和質譜室、分子泵和質譜室、標準漏孔和閥門組件。真空計和閥門之間的接觸面用金屬密封或橡膠圈密封。

2.處理方法。

不同密封部位的泄漏應采取不同的處理方法。

①檢漏接口與閥塊的連接部位有泄漏。首先，用灌膠密封。如果密封性能仍不符合要求，需要從制造商那里購買新產品。

②如果電磁閥與閥塊之間的密封圈有泄漏，應更換密封圈，先用無水乙醇清洗密封面。密封圈不能在密封圈上涂抹凡士林或真空脂肪(這些材料在真空條件下放氣會影響儀器底部)等密封添加劑。

③各部件之間的密封一般用橡膠圈密封，如有泄漏，應更換密封圈。注如下。

④真空測量儀的探頭和外殼之間用密封劑密封，在檢測中容易被忽略。如果這里有泄漏，可以用灌膠處理，但是探頭間距很小，操作空間有限。