氦質譜檢漏儀是一種性能穩定、靈敏度高的氦作為泄漏氣體的是真空檢測技術中敏感度高、常使用的檢漏儀。

  氦質譜檢漏儀是一種偏磁質譜儀。單級磁偏轉轉換儀的靈敏度為lo-9~10-12pam3/s，廣泛應用于各種真空系統和元件的檢測。單級磁偏轉過渡儀的使用可以顯著降低背景噪聲。與單級磁偏轉過渡儀相比，其靈敏度非常高，適用于超高真空系統、零部件和元件的檢測。傳統儀器采用反流法放置在主泵前端，使檢驗部件放置在檢漏儀前。因此，它具有高壓、無液氮、無污染的特點。適用于大泄漏、真空衛生差的真空系統，靈敏度可達10-12微米。

  氦質譜檢漏儀主要由離子源、分析儀、收集器、冷陰極電離規、抽氣機、電子元件等組成。它是由燈絲、離化室、離子加速器組成的離子源；由外部均勻磁場、擋板和接縫組成的分析器；由阻燃格柵、收集極和高電阻值組成的收集器，靜電計管和冷陰極電離規的一級放大。

  當離化室N時，氣體被電離成正離子，在電場的作用下聚合成一束。在加速電壓下，S1槽以一定速度通過S1槽進入分析器。具有一定速度的離子在均勻磁場中以圓軌運動。逆流氦質譜檢漏儀的結構特征。這類儀表是基于與不同氣體類型有關的油擴散泵或分子泵的壓縮比而制作的。舉例來說，多段油擴散泵對氦氣的壓縮比為102，而空氣中其他組分的壓縮比為lO4~106。在檢驗過程中，通過被檢部件漏孔進入主抽水泵前級位置的氦氣，仍有一部分返回質譜室，由儀器的輸出指示顯示泄漏信號。氦質譜檢漏儀是這樣工作的。