氦檢漏設備的維護
- 2021-08-24-
氦檢漏設備由于檢測靈敏度高、反應速度快、定位準確而得到廣泛應用。但在使用過程中經常出現故障或問題,影響設備的正常使用。
氦檢漏設備的維修注意事項如下:
1.如果沒有每天使用氦檢漏設備,建議每周通電一次,以便在高真空系統中保持真空,縮短氦泄漏儀的通電時間。
2.在安裝過程中,應避免安裝部位泄漏,并且可以自己檢查。
3.(排氣閥門等)應自檢漏點,并在發現泄漏點后及時清洗固定,以免影響檢漏。
4.氦檢漏設備維護,泵定期保養。
5.(處理散熱口灰塵,檢查更換泵油)不得有外來物落在氦氣檢漏設備上,尤其是進氣口,因為氦氣檢漏設備是精密設備,應保持其儲存和使用環境干凈衛生。本裝置只適合訓練合格的維修工程師。
6.使用時,注意觀察氦泄漏探測器的工作情況。例如找到問題(例如振動、噪音等)。馬上停止運轉。
氦檢漏設備在高速工作時,分子泵中的葉片易與轉子筒發生碰撞。馬上斷電排除故障。氦氣泄漏檢測器泄漏時,要注意內部泄漏對泄漏檢測工作的干擾,易造成誤檢和誤判。封好部件的接頭。如放大器-質譜室、離子源-質譜室、分子泵-質譜室、標準孔-閥組、真空計量閥、橡膠圈密封。找出泄漏點,用氦氣噴射替換密封環。
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