氦檢漏設備由于檢測靈敏度高、反應速度快、定位準確而得到廣泛應用。但在使用過程中經常出現故障或問題，影響設備的正常使用。

氦檢漏設備的維修注意事項如下：

1.如果沒有每天使用氦檢漏設備，建議每周通電一次，以便在高真空系統中保持真空，縮短氦泄漏儀的通電時間。

2.在安裝過程中，應避免安裝部位泄漏，并且可以自己檢查。

3.(排氣閥門等)應自檢漏點，并在發現泄漏點后及時清洗固定，以免影響檢漏。

4.氦檢漏設備維護，泵定期保養。

5.(處理散熱口灰塵，檢查更換泵油)不得有外來物落在氦氣檢漏設備上，尤其是進氣口，因為氦氣檢漏設備是精密設備，應保持其儲存和使用環境干凈衛生。本裝置只適合訓練合格的維修工程師。

6.使用時，注意觀察氦泄漏探測器的工作情況。例如找到問題(例如振動、噪音等)。馬上停止運轉。

氦檢漏設備在高速工作時，分子泵中的葉片易與轉子筒發生碰撞。馬上斷電排除故障。氦氣泄漏檢測器泄漏時，要注意內部泄漏對泄漏檢測工作的干擾，易造成誤檢和誤判。封好部件的接頭。如放大器-質譜室、離子源-質譜室、分子泵-質譜室、標準孔-閥組、真空計量閥、橡膠圈密封。找出泄漏點，用氦氣噴射替換密封環。